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- Titel:
Focused Ion Beam Lithography for Rapid Prototyping of Metallic Films
- Autor(en):
- Osswald, Patrick; Kiermaier, Josef; Becherer, Markus; Schmitt-Landsiedel, Doris
- Seitenangaben Beitrag:
- 310
- Kongress- / Buchtitel:
- Verhandl. DPG (VI)
- Band / Teilband / Volume:
- 45
- Jahr:
- 2010
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