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- Autor(en):
- Abd Allah, Mohamed; Thalhammer, Robert; Kaitila, Jyrki; Herzog, Thomas; Weber, Werner; Schmitt-Landsiedel, Doris
- Titel:
- Solidly mounted BAW resonators with layer-transferred AlN using sacrificial Si surfaces
- Stichworte:
- BAW
- Kongresstitel:
- Selected Papers from the ESSDERC 2009 Conference
- Zeitschriftentitel:
- Solid-State Electronics
- Jahr:
- 2010
- Band / Volume:
- 54
- Monat:
- sep
- Heft / Issue:
- 9
- Seitenangaben Beitrag:
- 1041 - 1046
- Volltext / DOI:
- doi:DOI: 10.1016/j.sse.2010.04.031
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