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- Title:
Untersuchung spezifischer Oberflächenelektrodenanordnungen zum Antrieb piezoelektrischer Mikromembranaktoren
- Document type:
- Report / Forschungsbericht
- Author(s):
- Purr, J.
- Contracting organization:
- Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme
- Year:
- 2012
- Format:
- Text
BibTeX