Diese Arbeit behandelt die Entwicklung von Planarsensoren zur Messung von Luftströmungen, insbesondere für medizinische Applikationen. Die Spirometrie stellt hier die höchsten Anforderungen bezüglich Messdynamik und Messbereich an den Sensor. Zudem ist hier ein hohes Auflösungsvermögen vor allem bei niedrigen Flussstärken von großer Bedeutung. Es werden verschiedene Methoden zur Herstellung von Planarsensoren entwickelt und die damit gefertigten Sensoren hinsichtlich ihres Einsatzes in der Spirometrie bewertet.     «

Diese Arbeit behandelt die Entwicklung von Planarsensoren zur Messung von Luftströmungen, insbesondere für medizinische Applikationen. Die Spirometrie stellt hier die höchsten Anforderungen bezüglich Messdynamik und Messbereich an den Sensor. Zudem ist hier ein hohes Auflösungsvermögen vor allem bei niedrigen Flussstärken von großer Bedeutung. Es werden verschiedene Methoden zur Herstellung von Planarsensoren entwickelt und die damit gefertigten Sensoren hinsichtlich ihres Einsatzes in der Spiro...     »