Im Rahmen der vorliegenden Arbeit werden Ansätze und Methoden zur Modellierung von gekoppelten Effekten in Mikrosystemen auf Bauelemente- und Systemebene entwickelt. Im Mittelpunkt der Untersuchungen stehen hierbei die elektromechanische Kopplung und die Fluid-Struktur-Wechselwirkung mit einem Schwerpunkt auf der viskosen Dämpfung bei dynamisch betriebenen Mikrobauelementen. An typischen Demonstratoren werden Wege aufgezeigt, wie die Komplexität der Modelle, angepaßt an die jeweilige Problemstellung, so reduziert werden kann, daß diese gekoppelten Effekte möglichst genau und physikalisch basiert, aber dennoch mit angemessenem Rechenaufwand in die Simulationen einbezogen werden können.     «

Im Rahmen der vorliegenden Arbeit werden Ansätze und Methoden zur Modellierung von gekoppelten Effekten in Mikrosystemen auf Bauelemente- und Systemebene entwickelt. Im Mittelpunkt der Untersuchungen stehen hierbei die elektromechanische Kopplung und die Fluid-Struktur-Wechselwirkung mit einem Schwerpunkt auf der viskosen Dämpfung bei dynamisch betriebenen Mikrobauelementen. An typischen Demonstratoren werden Wege aufgezeigt, wie die Komplexität der Modelle, angepaßt an die jeweilige Problemstel...     »

In this thesis, methods are developed which allow the modeling of coupled effects in microsystems on continuous-field level as well as on system level. The investigations have been focussed on the electromechanical coupling and the fluid-structure interaction with an emphasis on viscous damping effects in dynamically operated microdevices and -systems. For typical demonstrators methods and approaches are derived to reduce the model complexity according to the given prerequisites in order to model the coupled effects in a physically-based, but yet accurate manner while reducing the computational effort to an appropriate extent.     «

In this thesis, methods are developed which allow the modeling of coupled effects in microsystems on continuous-field level as well as on system level. The investigations have been focussed on the electromechanical coupling and the fluid-structure interaction with an emphasis on viscous damping effects in dynamically operated microdevices and -systems. For typical demonstrators methods and approaches are derived to reduce the model complexity according to the given prerequisites in order to mode...     »