In dieser Arbeit wurde ein alternatives Konzept eines MEMS-Mikrofons entworfen, um das Signal-Rausch-Verhältnis zu verbessern. Im neuen Bauelementkonzept wird das Schallsignal durch die Kapazitätsänderung in einer mikromechanischen Kammstruktur detektiert. Zur Unterstützung des Entwurfsprozesses wurde ein physikalisch basiertes modulares Simulationsmodell abgeleitet, das die gesamte Mikrofonfunktion prädiktiv abbildet. Die erfolgreiche Umsetzung des Konzepts zeigt sich in den realisierten Prototypen, die zusammen mit umfassenden theoretischen Untersuchungen das Potential des neuartigen Mikrofonkonzepts unterstreichen.     «

In dieser Arbeit wurde ein alternatives Konzept eines MEMS-Mikrofons entworfen, um das Signal-Rausch-Verhältnis zu verbessern. Im neuen Bauelementkonzept wird das Schallsignal durch die Kapazitätsänderung in einer mikromechanischen Kammstruktur detektiert. Zur Unterstützung des Entwurfsprozesses wurde ein physikalisch basiertes modulares Simulationsmodell abgeleitet, das die gesamte Mikrofonfunktion prädiktiv abbildet. Die erfolgreiche Umsetzung des Konzepts zeigt sich in den realisierten Protot...     »

In this work, an alternative concept of a MEMS microphone was designed to improve the signal-to-noise ratio. In the new concept, the sound signal is detected by the capacitance change in a micromechanical comb drive. To support the design process, a physically based modular simulation model was derived that predictively maps the entire microphone function. The successful implementation of the concept is reflected in the realized prototypes, which, together with comprehensive theoretical investigations, underline the potential of the new microphone concept.     «

In this work, an alternative concept of a MEMS microphone was designed to improve the signal-to-noise ratio. In the new concept, the sound signal is detected by the capacitance change in a micromechanical comb drive. To support the design process, a physically based modular simulation model was derived that predictively maps the entire microphone function. The successful implementation of the concept is reflected in the realized prototypes, which, together with comprehensive theoretical investig...     »