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Originaltitel:
Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons
Übersetzter Titel:
Design, modeling and realization of a comb-based MEMS microphone
Autor:
Manz, Johannes
Jahr:
2020
Dokumenttyp:
Dissertation
Fakultät/School:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Betreuer:
Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.)
Gutachter:
Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.); Tornow, Marc (Prof. Dr.)
Sprache:
de
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik
TU-Systematik:
ELT 200d
Kurzfassung:
In dieser Arbeit wurde ein alternatives Konzept eines MEMS-Mikrofons entworfen, um das Signal-Rausch-Verhältnis zu verbessern. Im neuen Bauelementkonzept wird das Schallsignal durch die Kapazitätsänderung in einer mikromechanischen Kammstruktur detektiert. Zur Unterstützung des Entwurfsprozesses wurde ein physikalisch basiertes modulares Simulationsmodell abgeleitet, das die gesamte Mikrofonfunktion prädiktiv abbildet. Die erfolgreiche Umsetzung des Konzepts zeigt sich in den realisierten Protot...     »
Übersetzte Kurzfassung:
In this work, an alternative concept of a MEMS microphone was designed to improve the signal-to-noise ratio. In the new concept, the sound signal is detected by the capacitance change in a micromechanical comb drive. To support the design process, a physically based modular simulation model was derived that predictively maps the entire microphone function. The successful implementation of the concept is reflected in the realized prototypes, which, together with comprehensive theoretical investig...     »
Serie / Reihe:
Selected Topics of Electronics and Micromechatronics
Bandnummer:
51
ISBN:
978-3-8440-7557-1
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=1453540
Eingereicht am:
19.09.2018
Mündliche Prüfung:
19.06.2020
Dateigröße:
8760707 bytes
Seiten:
121
Urn (Zitierfähige URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20200619-1453540-1-8
Letzte Änderung:
04.02.2021
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