Bixbyite‐Type Zirconium Tantalum Oxynitride Thin Films as Composition‐Tunable High Refractive Index Semiconductors

Titel:: Bixbyite‐Type Zirconium Tantalum Oxynitride Thin Films as Composition‐Tunable High Refractive Index Semiconductors
Dokumenttyp:: Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):: Wagner, Laura I.; Canever, Alessia; Sirotti, Elise; Jiang, Chang‐Ming; Munnik, Frans; Streibel, Verena; Sharp, Ian D.
Zeitschriftentitel:: Advanced Materials Interfaces
Jahr:: 2024
Volltext / DOI:: doi:10.1002/admi.202400745
Verlag / Institution:: Wiley
E-ISSN:: 2196-73502196-7350
Publikationsdatum:: 19.11.2024
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