Modular slot-die coater for in situ grazing-incidence x-ray scattering experiments on thin films
Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Reus, Manuel A.; Baier, Thomas; Lindenmeir, Christoph G.; Weinzierl, Alexander F.; Buyan-Arivjikh, Altantulga; Wegener, Simon A.; Kosbahn, David P.; Reb, Lennart K.; Rubeck, Jan; Schwartzkopf, Matthias; Roth, Stephan V.; Müller-Buschbaum, Peter