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Original title:
Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons 
Translated title:
Design, modeling and realization of a comb-based MEMS microphone 
Year:
2020 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.) 
Referee:
Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.); Tornow, Marc (Prof. Dr.) 
Language:
de 
Subject group:
ELT Elektrotechnik 
TUM classification:
ELT 200d 
Abstract:
In dieser Arbeit wurde ein alternatives Konzept eines MEMS-Mikrofons entworfen, um das Signal-Rausch-Verhältnis zu verbessern. Im neuen Bauelementkonzept wird das Schallsignal durch die Kapazitätsänderung in einer mikromechanischen Kammstruktur detektiert. Zur Unterstützung des Entwurfsprozesses wurde ein physikalisch basiertes modulares Simulationsmodell abgeleitet, das die gesamte Mikrofonfunktion prädiktiv abbildet. Die erfolgreiche Umsetzung des Konzepts zeigt sich in den realisierten Protot...    »
 
Translated abstract:
In this work, an alternative concept of a MEMS microphone was designed to improve the signal-to-noise ratio. In the new concept, the sound signal is detected by the capacitance change in a micromechanical comb drive. To support the design process, a physically based modular simulation model was derived that predictively maps the entire microphone function. The successful implementation of the concept is reflected in the realized prototypes, which, together with comprehensive theoretical investig...    »
 
Series:
Selected Topics of Electronics and Micromechatronics 
Series volume:
51 
ISBN:
978-3-8440-7557-1 
Oral examination:
19.06.2020 
File size:
8760707 bytes 
Pages:
121 
Last change:
04.02.2021