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Original title:
Problemangepasste Modellierung und Simulation von Mikrosystemen mit physikalisch basierten Modellen 
Translated title:
Tailored modeling and simulation of microsystems using physics-based models 
Year:
2020 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.) 
Referee:
Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.); Seidel, Helmut (Prof. Dr.); Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.) 
Language:
de 
Subject group:
ELT Elektrotechnik; PHY Physik 
Keywords:
Mikrosystem, MEMS, Modellierung, Simulation, Mikroschalter, Mikrofon 
Translated keywords:
microsystem, MEMS, modeling, simulation, microswitch, microphone 
TUM classification:
ELT 200d 
Abstract:
Der Einsatz von modellbasierten, virtuellen Prototypen ermöglicht den zeit- und kosteneffizienten Entwurf von Mikrosystemen. Diese Arbeit stellt ein modulares, physikalisch basiertes Modellierungskonzept vor, mit dem Modelle für die vielfältigen Mikrosysteme auf die jeweilige Problemstellung im Entwurf maßgeschneidert und so optimal eingesetzt werden können. Anhand von zwei sehr unterschiedlichen Mikrobauelementen – einem Hochfrequenz-Mikroschalter und einem Silizium-Mikrofon – wird dieses Konze...    »
 
Translated abstract:
Model-based, virtual prototyping enables the cost- and time-efficient design of microsystems. This work introduces a modular, physics-based modelling approach, which faces the diversity of microsystems with models tailored to the specific device and design task. This concept is exemplified by applying it to two different micro devices – a radio-frequency microswitch and a silicon microphone – and evaluated with respect to a general use in microsystem design. 
Series:
Selected Topics of Electronics and Micromechatronics 
Series volume:
50 
ISBN:
978-3-8440-7501-4 
Oral examination:
09.06.2020 
File size:
14627644 bytes 
Pages:
180 
Last change:
11.09.2020