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Titel:

Improving the reliability of electrostatically actuated RF-MEMS switches: FEM simulations and measurements on a thermal recovery mechanism

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation
Autor(en):
Künzig, T.; Schrag, G.; Iannacci, J.; Wachutka, G.
Seitenangaben Beitrag:
pp 340-345
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of the 13th Mechatronics Forum - International Conference
Kongress / Zusatzinformationen:
Mechatronics 2012, Sept. 17-19, Linz, Austria
Jahr:
2012
Reviewed:
ja
Sprache:
en
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