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- Titel:
A capacitive pressure sensor with a structured PDMS dielectric layer
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Textbeitrag / Aufsatz
- Autor(en):
- Riedl, X.; Boltzmacher, C.; Wagner, R.; Bauer, K.; Schwesinger, N.
- Kongress- / Buchtitel:
- E-MRS-spring meeting
- Jahr:
- 2010
- Quartal:
- 2. Quartal
- Monat:
- Jun
- Reviewed:
- nein
- Sprache:
- en
- Semester:
- SS 10
- Format:
- Text
BibTeX