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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Textbeitrag / Aufsatz
Autor(en):
Riedl, X.; Boltzmacher, C.; Wagner, R.; Bauer, K.; Schwesinger, N.
Titel:
A capacitive pressure sensor with a structured PDMS dielectric layer
Kongress- / Buchtitel:
E-MRS-spring meeting
Jahr:
2010
Quartal:
2. Quartal
Monat:
Jun
Reviewed:
nein
Sprache:
en
Semester:
SS 10
Format:
Text
BibTeX
Vorkommen:
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Einrichtungen
Schools
TUM School of Computation, Information and Technology
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Mikrostrukturierte mechatronische Systeme (N.N.)
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