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Titel:

In situ direct visualization of irradiated electron-beam patterns on unprocessed resists using atomic force microscopy

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Koop, H., Schnurbusch, D., Müller, M., Gründl, T., Zech, M., Amann, M. C., Karrai, K., Holleitner, A.
Zeitschriftentitel:
Journal of Vacuum Science and Technology
Jahr:
2010
Jahr / Monat:
2010-07
Quartal:
3. Quartal
Monat:
Jul
Heft / Issue:
28/4
Reviewed:
ja
Sprache:
en
Volltext / DOI:
doi:10.1116/1.3457938
WWW:
http://avspublications.org/jvstb/resource/1/jvtbd9/v28/i4/p802_s1
Print-ISSN:
1071-1023
Status:
published (reviewed)
Semester:
SS 02
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Halbleitertechnologie (E26)
Format:
Text
 BibTeX