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- Document type:
- Konferenzbeitrag
- Author(s):
- Ashour, M.; Weig, E.M.; Caspers, J.N.
- Title:
- FEM-Abschätzung für die Stabilität eines opto-mechanischen Phasenschiebers
- Book / Congress title:
- MikroSystemTechnik Kongress , P9.7 P9 Entwurfsmethoden und Simulationen
- Congress (additional information):
- Berlin, Germany, 28-30 Oct 2019-10
- Publisher:
- Verein Deutscher Ingenieure VDI
- Year:
- 2019
- Year / month:
- 2019-10
- Month:
- Oct
- Language:
- de
- WWW:
- https://www.vde-verlag.de/buecher/ivz/9783800750900_INHALT_01.pdf
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