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Titel:

FEM-Abschätzung für die Stabilität eines opto-mechanischen Phasenschiebers

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Ashour, M.; Weig, E.M.; Caspers, J.N.
Kongress- / Buchtitel:
MikroSystemTechnik Kongress , P9.7 P9 Entwurfsmethoden und Simulationen
Kongress / Zusatzinformationen:
Berlin, Germany, 28-30 Oct 2019-10
Verlag / Institution:
Verein Deutscher Ingenieure VDI
Jahr:
2019
Jahr / Monat:
2019-10
Monat:
Oct
Sprache:
de
WWW:
https://www.vde-verlag.de/buecher/ivz/9783800750900_INHALT_01.pdf
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