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Title:

FEM-Abschätzung für die Stabilität eines opto-mechanischen Phasenschiebers

Document type:
Konferenzbeitrag
Author(s):
Ashour, M.; Weig, E.M.; Caspers, J.N.
Book / Congress title:
MikroSystemTechnik Kongress , P9.7 P9 Entwurfsmethoden und Simulationen
Congress (additional information):
Berlin, Germany, 28-30 Oct 2019-10
Publisher:
Verein Deutscher Ingenieure VDI
Year:
2019
Year / month:
2019-10
Month:
Oct
Language:
de
WWW:
https://www.vde-verlag.de/buecher/ivz/9783800750900_INHALT_01.pdf
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