In vorliegender Arbeit werden Methoden für die kostengünstige und schnelle Herstellung von Funktionsmodellen für die Mikrosystemtechnik entwickelt. Für die Mikrostrukturierung von Substraten werden sowohl für die Laserbearbeitung als auch für das Trennschleifen die notwendigen Fertigungsparameter abgeleitet. Die Montage von Funktionskomponenten wird über einen neu entwickelten Mikromontageplatz mit Klebstoffauftragswerkzeug realisiert. In weniger als 10 Stunden können mit den vorgestellten Verfahren fünf Funktionsmodelle eines Mikrotropfenerzeugers hergestellt werden.     «

In vorliegender Arbeit werden Methoden für die kostengünstige und schnelle Herstellung von Funktionsmodellen für die Mikrosystemtechnik entwickelt. Für die Mikrostrukturierung von Substraten werden sowohl für die Laserbearbeitung als auch für das Trennschleifen die notwendigen Fertigungsparameter abgeleitet. Die Montage von Funktionskomponenten wird über einen neu entwickelten Mikromontageplatz mit Klebstoffauftragswerkzeug realisiert. In weniger als 10 Stunden können mit den vorgestellten Verfa...     »

This work describes methods for the manufacturing process of function models for the microtechnology in a time- and cost-saving manner. For the microstructuring operations of substrates the manufacturing parameters of laser beam micromachining as well as of cut off grinding using a dicing saw are optimized. The microassembly of functional materials is successfully realized by developing a new manual microassembly system with an application tool for adhesive layers. By using the described techniques five microdroplet generators can be manufactured simultaneously in less than 10 hours.     «

This work describes methods for the manufacturing process of function models for the microtechnology in a time- and cost-saving manner. For the microstructuring operations of substrates the manufacturing parameters of laser beam micromachining as well as of cut off grinding using a dicing saw are optimized. The microassembly of functional materials is successfully realized by developing a new manual microassembly system with an application tool for adhesive layers. By using the described techniq...     »