In dieser Dissertation wird ein piezoelektrischer Mikromembranaktor, der über interdigitale Oberflächenelektroden gesteuert wird, entwickelt. Dieser besteht aus der piezoelektrischen Hochleistungskeramik PZT (Bleizirkonattitanat). PZT-Membranen mit Radien von 1 mm bis 3,5 mm und Dicken von 0,1 mm bis 0,25 mm werden über interdigital angeordnete Oberflächenelektroden derart angesteuert, dass sie sich zu einer Seite hin verwölben. Über das Elektrodenlayout und die mechanische Randeinspannung, lässt sich die Richtung der Auslenkung beeinflussen. Es wird gezeigt, dass sich der entwickelte Aktor für den Betrieb eines normal geschlossenen Mikroventils eignet.     «

In dieser Dissertation wird ein piezoelektrischer Mikromembranaktor, der über interdigitale Oberflächenelektroden gesteuert wird, entwickelt. Dieser besteht aus der piezoelektrischen Hochleistungskeramik PZT (Bleizirkonattitanat). PZT-Membranen mit Radien von 1 mm bis 3,5 mm und Dicken von 0,1 mm bis 0,25 mm werden über interdigital angeordnete Oberflächenelektroden derart angesteuert, dass sie sich zu einer Seite hin verwölben. Über das Elektrodenlayout und die mechanische Randeinspannung, läss...     »

In this thesis a piezoelectric micro membrane actuator, which is driven by interdigitated surface electrodes, is developed. It consists of the piezoelectric high performance ceramic PZT (lead zirconate titanate). PZT membranes with a varying radius of 1 mm to 3.5 mm and a varying thickness from 0.1 mm to 0.25 mm are actuated by interdigitated surface electrodes in such a way, that the membrane will deform out of its planar state. The direction of the deflection can be influenced by the electrode layout and mechanical clamping. The developed piezoelectric membrane actuator can be utilized in a normally closed micro valve.     «

In this thesis a piezoelectric micro membrane actuator, which is driven by interdigitated surface electrodes, is developed. It consists of the piezoelectric high performance ceramic PZT (lead zirconate titanate). PZT membranes with a varying radius of 1 mm to 3.5 mm and a varying thickness from 0.1 mm to 0.25 mm are actuated by interdigitated surface electrodes in such a way, that the membrane will deform out of its planar state. The direction of the deflection can be influenced by the electrode...     »