Die Arbeit hat zum Ziel, eine piezoelektrische Mikropumpe so zu optimieren, dass ihre Förderleistung den Einsatz als Zirkulationspumpe in einer Miniatur-Brennstoffzelle erlaubt. Physikalisch basierte Modelle des Biegeaktors, der Pumpkammer, der Ventile und der fluidischen Peripherie werden entwickelt, validiert, und zur Optimierung der Pumpe als Gesamtsystem genutzt. Grundlegende Designregeln für generische piezoelektrische Biegeaktoren werden erstmals in einfacher Form vorgestellt. Auf Basis eines Labormusters der Pumpe wird die Fertigung optimiert, um die Pumpe mit serienfertigungstauglichen Prozessen und definierten Maßen dauerhaft haltbar aufzubauen. Die Evaluierung erfolgt an einer erfolgreich aufgebauten Pilotserie. Eine Förderrate mit Wasser von 130.2 ml/min bei 120 Hz und sprungförmiger Anregungsspannung von 350/-70 Volt, sowie eine Gegendruckfähigkeit von 85 kPa werden erstmals mit einer Mikropumpe erreicht.
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Die Arbeit hat zum Ziel, eine piezoelektrische Mikropumpe so zu optimieren, dass ihre Förderleistung den Einsatz als Zirkulationspumpe in einer Miniatur-Brennstoffzelle erlaubt. Physikalisch basierte Modelle des Biegeaktors, der Pumpkammer, der Ventile und der fluidischen Peripherie werden entwickelt, validiert, und zur Optimierung der Pumpe als Gesamtsystem genutzt. Grundlegende Designregeln für generische piezoelektrische Biegeaktoren werden erstmals in einfacher Form vorgestellt. Auf Basis ei...
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