Metal transfer printing as an enabling technology for device fabrication

Haeberle, Tobias

Tobias Haeberle

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Original title:: Metal transfer printing as an enabling technology for device fabrication
Translated title:: Metal-Transferdruck-Verfahren zur Herstellung elektrischer Kontakte
Author:: Haeberle, Tobias
Year:: 2018
Document type:: Dissertation
Faculty/School:: Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Advisor:: Lugli, Paolo (Prof. Dr.)
Referee:: Lugli, Paolo (Prof. Dr.); Tornow, Marc (Prof. Dr.)
Language:: en
Subject group:: ELT Elektrotechnik
TUM classification:: TEC 030d
Abstract:: In this thesis we present a novel fabrication scheme to define micro- and nanoscale metal electrodes in a purely additive printing process, where the metal film is transferred from the protruding regions of a stamp onto a receiving substrate. The presented process is based on a novel polymeric stamp material that enables excellent pattern replication with critical feature sizes from several micrometers down to sub-100 nanometers over large areas and with complex geometries.
Translated abstract:: Diese Arbeit widmet sich der Entwicklung eines Verfahrens zur Schaffung von Metallkontakten sowohl für mikro- als auch nanoelektronische Anwendungen. Hierbei wird die Metallschicht von einem vorstrukturierten Stempel auf das Zielsubstrat additiv transferiert. Durch die Nutzung eines polymerbasierten Stempel-Materials, wird die zuverlässige Herstellung einer Vielzahl von Strukturen in Größenordnungen von mehreren Mikrometern bis hinunter zu weniger als 100 Nanometer ermöglicht.
WWW:: https://mediatum.ub.tum.de/?id=1360779
Date of submission:: 18.07.2017
Oral examination:: 02.07.2018
File size:: 115116071 bytes
Pages:: 136
Urn (citeable URL):: https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20180702-1360779-1-1
Last change:: 11.09.2018
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