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Originaltitel:
Metal transfer printing as an enabling technology for device fabrication
Übersetzter Titel:
Metal-Transferdruck-Verfahren zur Herstellung elektrischer Kontakte
Autor:
Haeberle, Tobias
Jahr:
2018
Dokumenttyp:
Dissertation
Fakultät/School:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Betreuer:
Lugli, Paolo (Prof. Dr.)
Gutachter:
Lugli, Paolo (Prof. Dr.); Tornow, Marc (Prof. Dr.)
Sprache:
en
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik
TU-Systematik:
TEC 030d
Kurzfassung:
In this thesis we present a novel fabrication scheme to define micro- and nanoscale metal electrodes in a purely additive printing process, where the metal film is transferred from the protruding regions of a stamp onto a receiving substrate. The presented process is based on a novel polymeric stamp material that enables excellent pattern replication with critical feature sizes from several micrometers down to sub-100 nanometers over large areas and with complex geometries.
Übersetzte Kurzfassung:
Diese Arbeit widmet sich der Entwicklung eines Verfahrens zur Schaffung von Metallkontakten sowohl für mikro- als auch nanoelektronische Anwendungen. Hierbei wird die Metallschicht von einem vorstrukturierten Stempel auf das Zielsubstrat additiv transferiert. Durch die Nutzung eines polymerbasierten Stempel-Materials, wird die zuverlässige Herstellung einer Vielzahl von Strukturen in Größenordnungen von mehreren Mikrometern bis hinunter zu weniger als 100 Nanometer ermöglicht.
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=1360779
Eingereicht am:
18.07.2017
Mündliche Prüfung:
02.07.2018
Dateigröße:
115116071 bytes
Seiten:
136
Urn (Zitierfähige URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20180702-1360779-1-1
Letzte Änderung:
11.09.2018
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