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- Titel:
Thermoelastic damping in MEMS gyroscopes at high frequencies
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Schiwietz, Daniel; Weig, Eva M.; Degenfeld-Schonburg, Peter
- Zeitschriftentitel:
- Microsystems & Nanoengineering
- Jahr:
- 2023
- Band / Volume:
- 9
- Heft / Issue:
- 1
- Seitenangaben Beitrag:
- 11
- Volltext / DOI:
- doi:10.1038/s41378-022-00480-1
- Verlag / Institution:
- Springer Science and Business Media LLC
- E-ISSN:
- 2055-7434
- Publikationsdatum:
- 16.01.2023
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