From atoms to layers: in situ gold growth kinetics during sputter deposition
Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Schwartzkopf, M. ; Benecke, G. ; Buffet, A. ; Erb, D. ; Heidmann, B. ; Herzog, G. ; Körstgens, V. ; Metwalli, E. ; Perlich, J. ; Rawolle, M. ; Rothkirch, A. ; Schlage, K. ; Müller-Buschbaum, P. ; Röhlsberger, R. ; Gehrke, R. ; Stribeck, N. ; Roth, S.V.