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- Titel:
Simulation of thick film PZT actuators with interdigitated electrodes
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Textbeitrag / Aufsatz
- Autor(en):
- Zaki, M.; Zähringer, S.; Schwesinger, N.
- Seitenangaben Beitrag:
- 38/1-8
- Kongress- / Buchtitel:
- Smart Sensors, Actuators, and MEMS VI
- Band / Teilband / Volume:
- Proc. SPIE 8763
- Ausrichter der Konferenz:
- SPIE
- Konferenzort:
- Grenoble
- Verlag / Institution:
- SPIE
- Jahr:
- 2013
- Monat:
- Apr
- Seiten:
- 8
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- en
- Erscheinungsform:
- WWW
- Volltext / DOI:
- doi:10.1117/12.2017411
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