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Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Körstgens, V. ; Meier, R. ; Ruderer, M.A. ; Guo, S. ; Chiang, H.-Y. ; Perlich, J. ; Roth, S.V. ; Gehrke, R. ; Müller-Buschbaum, P.
Titel:
Grazing incidence small and wide angle x-ray scattering combined with imaging ellipsometry
Zeitschriftentitel:
Rev. Sci. Instrum.
Jahr:
2012
Band / Volume:
83
Heft / Issue:
076107
WWW:
https://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.4738880
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