- Titel:
Highly Reliable Contacts to Silicon Enabled by Low Temperature Sputtered Graphenic Carbon
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Stelzer, Max; Jung, Moritz; Wurstbauer, Ursula; Holleitner, Alexander; Kreupl, Franz
- Zeitschriftentitel:
- IEEE Journal of the Electron Devices Society
- Jahr:
- 2019
- Band / Volume:
- 7
- Seitenangaben Beitrag:
- 252-260
- Volltext / DOI:
- doi:10.1109/jeds.2019.2894975
- Verlag / Institution:
- Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
- E-ISSN:
- 2168-6734
- Publikationsdatum:
- 01.01.2019
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