- Autor(en):
- Hommel, S.; Killat, N.; Altes, A.; Schweinboeck, T.; Schmitt-Landsiedel, D.; Silvestri, M.; Haeberlen, O.
- Titel:
- {S}canning {M}icrowave {M}icroscopy for {E}lectronic {D}evice {A}nalysis on {N}anometre {S}cale
- Zeitschriftentitel:
- Microelectronics Reliability
- Jahr:
- 2016
- Band / Volume:
- 64
- Monat:
- sep
- Volltext / DOI:
- doi:10.1016/j.microrel.2016.07.134
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