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Titel:

< i> In Situ< /i> ALD-TEM System to Study Atomic Nucleation Phenomena - Enabled by Ultrathin Large Aspect Ratio Free-Standing Shell Structures

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Burgmann, Stephanie; Afif, Abdulla; Lid, Markus Joakim; Baglo, Kjetil; Chaikasetsin, Settasit; van Helvoort, Antonius T.J.; Prinz, Fritz B.; Haugen, Bjørn; Torgersen, Jan
Zeitschriftentitel:
Key Engineering Materials
Jahr:
2023
Band / Volume:
968
Seitenangaben Beitrag:
31-38
Nachgewiesen in:
Scopus
Volltext / DOI:
doi:10.4028/p-0dlr8p
Verlag / Institution:
Trans Tech Publications, Ltd.
E-ISSN:
1662-9795
Publikationsdatum:
06.12.2023
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften
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