- Titel:
Miniaturized two-chamber photoacoustic CO2 sensor with a wafer-bonded MEMS (micro-electro-mechanical systems) detector
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Gaßner, Simon ; Essing, Simon ; Tumpold, David ; Schmitt, Katrin ; Wöllenstein, Jürgen
- Zeitschriftentitel:
- Journal of Sensors and Sensor Systems
- Jahr:
- 2024
- Band / Volume:
- 13
- Heft / Issue:
- 2
- Seitenangaben Beitrag:
- 219-226
- Volltext / DOI:
- doi:10.5194/jsss-13-219-2024
- Verlag / Institution:
- Copernicus Publications
- E-ISSN:
- 2194-878X
- Publikationsdatum:
- 02.08.2024
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