- Titel:
Annealing-Free Ohmic Contacts to n-Type GaN via Hydrogen Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of Sub-Nanometer AlOx
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Christis, Maximilian ; Henning, Alex ; Bartl, Johannes D. ; Zeidler, Andreas ; Rieger, Bernhard ; Stutzmann, Martin ; Sharp, Ian D.
- Stichworte:
- Research Article ; Research Articles ; atomic layer deposition ; gallium nitride ; interface engineering ; ohmic contacts ; plasma modification
- Zeitschriftentitel:
- Advanced Materials Interfaces
- Jahr:
- 2023
- Band / Volume:
- 11
- Heft / Issue:
- 4
- Volltext / DOI:
- doi:10.1002/admi.202300758
- E-ISSN:
- 2196-7350
- Publikationsdatum:
- 01.12.2023
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