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Titel:

Tunable Encapsulation and Doping of Monolayer MoS2 by In Situ Probing of Excitonic Properties During Atomic Layer Deposition

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Henning, Alex ; Levashov, Sergej ; Qian, Chenjiang ; Grünleitner, Theresa ; Primbs, Julian ; Finley, Jonathan J. ; Sharp, Ian D.
Stichworte:
Research Article ; Research Articles ; 2D materials integration ; 2D materials protection ; atomic layer deposition ; in situ ellipsometry ; monolayer MoS ; ultrathin aluminum oxide
Zeitschriftentitel:
Advanced Materials Interfaces
Jahr:
2023
Band / Volume:
10
Heft / Issue:
15
Volltext / DOI:
doi:10.1002/admi.202202429
E-ISSN:
2196-7350
Publikationsdatum:
18.04.2023
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