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- Original title:
- Integrierte, siliziumbasierte, miniaturisierte Pumpen und Strömungssensoren für mobile mikrofluidische Systeme
- Translated title:
- Integrated silicon-based miniaturized pumps and flow sensors for mobile microfluidic systems
- Author:
- Seidl, Martin
- Year:
- 2023
- Document type:
- Dissertation
- Faculty/School:
- TUM School of Computation, Information and Technology
- Institution:
- Technische Elektrophysik (Prof. Schrag komm.)
- Advisor:
- Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.)
- Referee:
- Schrag, Gabriele (Prof. Dr. habil.); Hagelauer, Amelie (Prof. Dr.)
- Language:
- de
- Subject group:
- ELT Elektrotechnik
- Keywords:
- Mikrotechnik, Pumpe, Anemometer, Strömungssensor
- Translated keywords:
- microtechnology, pump, anemometer, flow sensor
- TUM classification:
- ELT 200
- Abstract:
- In dieser Arbeit werden integrierte, siliziumbasierte Mikropumpen und darauf abgestimmte, miniaturisierte Strömungssensoren von Grund auf neu konzeptioniert und entwickelt. Die Entwicklungsphase wird durch virtuelle Produktentwicklung und durch die Adaptierung vorhandener Fertigungsprozesse beschleunigt. Nach der Entwicklung geeigneter Prüfstände können durch experimentelle Charakterisierung die Vorteile der Mikropumpen und Strömungssensoren gegenüber dem Stand der Technik nachgewiesen werden.
- Translated abstract:
- In this work, integrated silicon-based micropumps and matched miniaturized flow sensors are conceptualized and developed from scratch. The development phase is accelerated by virtual product development and by adapting existing manufacturing processes. After the development of suitable test rigs, the advantages of the micropumps and flow sensors compared to the state of the art can be demonstrated by experimental characterization.
- WWW:
- https://mediatum.ub.tum.de/?id=1713917
- Date of submission:
- 28.06.2023
- Oral examination:
- 03.11.2023
- File size:
- 52785110 bytes
- Pages:
- 143
- Urn (citeable URL):
- https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20231103-1713917-1-1
- Last change:
- 17.11.2023
BibTeX
Occurrences:
- mediaTUM GesamtbestandElektronische PrüfungsarbeitenSchoolTUM School of Computation, Information and TechnologyElectrical Engineering
- mediaTUM GesamtbestandElektronische PrüfungsarbeitenSchoolTUM School of Computation, Information and Technology