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Titel:

Fabrication of x-ray absorption gratings via deep x-ray lithography using a conventional x-ray tube

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Pinzek, Simon; Beckenbach, Thomas; Viermetz, Manuel; Meyer, Pascal; Gustschin, Alex; Andrejewski, Jana; Gustschin, Nikolai; Herzen, Julia; Schulz, Joachim; Pfeiffer, Franz
Zeitschriftentitel:
Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology
Jahr:
2021
Band / Volume:
20
Heft / Issue:
04
Volltext / DOI:
doi:10.1117/1.jmm.20.4.043801
Verlag / Institution:
SPIE-Intl Soc Optical Eng
E-ISSN:
2708-8340
Publikationsdatum:
04.10.2021
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