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- Dokumenttyp:
- Patent
- Patent, Gebrauchsmuster Nr.:
- US000008420526B2
- Erfinder:
- GUTSCHE MARTIN, DE KREUPL FRANZ, DE SEIDL HARALD, DE
- Patentanmelder:
- GUTSCHE MARTIN, DE KREUPL FRANZ, DE SEIDL HARALD, DE
- Titel:
- Vertical interconnect structure, memory device and associated production method
- Anmeldeland:
- US
- Veröffentlichungsdatum / Patent:
- 16.04.2013
- Jahr:
- 2013
- Sprache:
- en
- Nachgewiesen in:
- Scopus
- TUM Einrichtung:
- Hybride Elektronische Systeme
- Format:
- Text
BibTeX