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Titel:
Characterization of Surface Actuators on 100µm Thin PZT Subtrates
Dokumenttyp:
Report / Forschungsbericht
Autor(en):
Jing, J.
Beauftragende Einrichtung:
Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme
Jahr:
2013
Format:
Text
BibTeX
Vorkommen:
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Einrichtungen
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TUM School of Computation, Information and Technology
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