Kapazitives Messsystem zur Charakterisierung von planaren elektronischen Strukturen

Alatas, Fatih

Elektrotechnik und Informationstechnik

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Original title:: Kapazitives Messsystem zur Charakterisierung von planaren elektronischen Strukturen
Translated title:: Capacitive measurement system for characterization of planar electronic structures
Author:: Alatas, Fatih
Year:: 2014
Document type:: Dissertation
Faculty/School:: Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Advisor:: Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil. Dr. h.c.)
Referee:: Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil. Dr. h.c.); Eibert, Thomas (Prof. Dr.)
Language:: de
Subject group:: ELT Elektrotechnik; MSR Meßtechnik, Steuerungs- und Regelungstechnik, Automation
TUM classification:: MSR 050d
Abstract:: Zentrales Thema der Arbeit ist ein kapazitives Inspektions- und Messsystem für planare elektrische Strukturen. Dieses System ermöglicht eine bildgebende Messung zur Struktur- und Funktionsinspektion, sowie eine berührungslose Spannungsmessung. Im Rahmen der Arbeit wird hierzu die dem Messsystem zu Grunde liegende Theorie erarbeitet, sowie das Messsystem aufgebaut, charakterisiert und validiert. Ferner wird ein Messansatz zur simultanen Messung von zwei unabhängigen Messgrößen erarbeitet und evaluiert. «
Zentrales Thema der Arbeit ist ein kapazitives Inspektions- und Messsystem für planare elektrische Strukturen. Dieses System ermöglicht eine bildgebende Messung zur Struktur- und Funktionsinspektion, sowie eine berührungslose Spannungsmessung. Im Rahmen der Arbeit wird hierzu die dem Messsystem zu Grunde liegende Theorie erarbeitet, sowie das Messsystem aufgebaut, charakterisiert und validiert. Ferner wird ein Messansatz zur simultanen Messung von zwei unabhängigen Messgrößen erarbeitet und eval... »
Translated abstract:: The central subject of this work is a capacitive inspection and measurement system for planar electrical structures. This system features an imaging measurement mode for structural and functional inspection, as well as a contactless voltage measurement mode. In this thesis, the theory of this measurement system is elaborated. The measurement system is implemented, characterized and validated. Furthermore, a measurement approach for simultaneous acquisition of two independent measurement values is developed and evaluated. «
The central subject of this work is a capacitive inspection and measurement system for planar electrical structures. This system features an imaging measurement mode for structural and functional inspection, as well as a contactless voltage measurement mode. In this thesis, the theory of this measurement system is elaborated. The measurement system is implemented, characterized and validated. Furthermore, a measurement approach for simultaneous acquisition of two independent measurement values i... »
Series:: Reports on measurement and sensor systems
ISBN:: 978-3-8440-3458-5
WWW:: https://mediatum.ub.tum.de/?id=1178183
Date of submission:: 07.11.2013
Oral examination:: 16.07.2014
Last change:: 21.05.2015
BibTeX