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Titel:

Fabrication of two-dimensional hard X-ray diffraction gratings

Autor(en):
Rutishauser, S.; Bednarzik, M.; Zanette, I.; Weitkamp, T.; Börner, M.; Mohr, J.; David, C.
Zeitschriftentitel:
Microelectronic Engineering
Jahr:
2013
Band / Volume:
101
Seitenangaben Beitrag:
12-16
Volltext / DOI:
doi:10.1016/j.mee.2012.08.025
Verlag / Institution:
Elsevier BV
Publikationsdatum:
01.01.2013
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