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- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Furio, A; Stelzer, M; Jung, M; Neitzert, H C; Kreupl, F
- Titel:
- Graphenic carbon as etching mask: patterning with laser lithography and KOH etching
- Zeitschriftentitel:
- Journal of Physics: Conference Series
- Jahr:
- 2019
- Band / Volume:
- 1226
- Seitenangaben Beitrag:
- 012011
- Volltext / DOI:
- doi:10.1088/1742-6596/1226/1/012011
- Verlag / Institution:
- IOP Publishing
- E-ISSN:
- 1742-65881742-6596
- Publikationsdatum:
- 01.05.2019
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