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- Titel:
Non-Contact Roughness Measurement in Sub-Micron Range by Considering Depolarization Effects
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Pöller, Franziska; Salazar Bloise, Félix; Jakobi, Martin; Wang, Shengjia; Dong, Jie; Koch, Alexander W.
- Zeitschriftentitel:
- Sensors
- Jahr:
- 2019
- Band / Volume:
- 19
- Heft / Issue:
- 10
- Seitenangaben Beitrag:
- 2215
- Volltext / DOI:
- doi:10.3390/s19102215
- Verlag / Institution:
- MDPI AG
- E-ISSN:
- 1424-8220
- Publikationsdatum:
- 14.05.2019
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