Reliable Compact Models for the Investigation of Acoustic High-Frequency Effects in MEMS Transducers

Titel:: Reliable Compact Models for the Investigation of Acoustic High-Frequency Effects in MEMS Transducers
Dokumenttyp:: Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):: Bosetti, Gabriele; Manz, Johannes; Krumbein, Ulrich; Schrag, Gabriele
Zeitschriftentitel:: Proceedings
Jahr:: 2018
Band / Volume:: 2
Heft / Issue:: 13
Seitenangaben Beitrag:: 1024
Volltext / DOI:: doi:10.3390/proceedings2131024
Verlag / Institution:: MDPI AG
E-ISSN:: 2504-3900
Publikationsdatum:: 13.11.2018
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