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Titel:

SIESTA: A high current ion source for erosion and retention studies

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Arredondo, R.; Oberkofler, M.; Schmid, K.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Neu, R.
Zeitschriftentitel:
Review of Scientific Instruments
Jahr:
2018
Band / Volume:
89
Heft / Issue:
10
Seitenangaben Beitrag:
103501
Volltext / DOI:
doi:10.1063/1.5039156
Verlag / Institution:
AIP Publishing
E-ISSN:
0034-67481089-7623
Publikationsdatum:
01.10.2018
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