- Title:
Optimierung des Klebeprozesses von PZT Keramiken mit Siliziumwafern
- Document type:
- Report / Forschungsbericht
- Author(s):
- Michael Brambach
- Contracting organization:
- Technische Universität München
- Year:
- 2016
- TUM Institution:
- Fachgebiet für Mikrostrukturierte Mechatronische Syteme
- Format:
- Text
- BibTeX