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Titel:

New avenues for residual stress analysis in ultrathin atomic layer deposited free-standing membranes through release of micro-cantilevers

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Burgmann, S.; Lid, M.J.; Johnsen, H.J.D.; Vedvik, N.P.; Haugen, B.; Provine, J.; van Helvoort, A.T.J.; Torgersen, J.
Zeitschriftentitel:
Heliyon
Jahr:
2024
Band / Volume:
10
Heft / Issue:
4
Seitenangaben Beitrag:
e26420
Nachgewiesen in:
Scopus; Web of Science
Volltext / DOI:
doi:10.1016/j.heliyon.2024.e26420
Verlag / Institution:
Elsevier BV
E-ISSN:
2405-8440
Publikationsdatum:
01.02.2024
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften
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