Ein neues Pixelmodulkonzept für Hochenergiephysikexperimente am HL-LHC wird erforscht. Es erfüllt die Anforderungen, die sich durch die hohen instantanen Luminositäten ergeben. Dies sind hohe Spurdichten sowie Strahlenschäden. Dabei kommen fünf neue Technologien zum Einsatz: n-in-p Pixelsensoren, dünne Sensoren, schmale Randzonen sowohl mit als auch ohne implantierte Sensorseiten sowie 3D-Integration. Die 3D-Integration setzt sich zusammen, aus einer neuen Verbindungstechnologie, genannt Solid Liquid InterDiffusion (SLID), und Inter-Chip-Vias (ICV).
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Ein neues Pixelmodulkonzept für Hochenergiephysikexperimente am HL-LHC wird erforscht. Es erfüllt die Anforderungen, die sich durch die hohen instantanen Luminositäten ergeben. Dies sind hohe Spurdichten sowie Strahlenschäden. Dabei kommen fünf neue Technologien zum Einsatz: n-in-p Pixelsensoren, dünne Sensoren, schmale Randzonen sowohl mit als auch ohne implantierte Sensorseiten sowie 3D-Integration. Die 3D-Integration setzt sich zusammen, aus einer neuen Verbindungstechnologie, genannt Solid L...
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