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Title:

Magnetischer Foliensensor in Mikrosystemtechnik

Document type:
Konferenzbeitrag
Author(s):
Weißinger, Christoph; Pfaffinger, Christian; Grönefeld, Martin; Herzog, Hans-Georg
Editor:
VDE/VDI/IT Technologiezentrum
Book / Congress title:
Magnetische Mikro- und Nanotechnologien
Congress (additional information):
Zweites gemeinsames Projekttreffen, Sensor und Test
Publisher address:
Nürnberg
Date of publication:
20.05.2010
Year:
2010
Reviewed:
ja
Language:
de
Format:
Text
 BibTeX