Magnetischer Foliensensor in Mikrosystemtechnik

Weißinger, Christoph; Pfaffinger, Christian; Grönefeld, Martin; Herzog, Hans-Georg

Titel:: Magnetischer Foliensensor in Mikrosystemtechnik
Dokumenttyp:: Konferenzbeitrag
Autor(en):: Weißinger, Christoph; Pfaffinger, Christian; Grönefeld, Martin; Herzog, Hans-Georg
Herausgeber:: VDE/VDI/IT Technologiezentrum
Kongress- / Buchtitel:: Magnetische Mikro- und Nanotechnologien
Kongress / Zusatzinformationen:: Zweites gemeinsames Projekttreffen, Sensor und Test
Verlagsort:: Nürnberg
Publikationsdatum:: 20.05.2010
Jahr:: 2010
Reviewed:: ja
Sprache:: de
Format:: Text
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