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- Dokumenttyp:
- Diplomarbeit
- Autor(en):
- Vogel, M.
- Titel:
- Aufbau einer ionenstranlunterstützten RF Magnetron Sputter Anlage und Herstellung sowie Charakterisierung von dünnen Schichten im B-C-N System
- Jahr:
- 2007
- Monat:
- July
- Hinweise:
- Advisor: H. Bolt
- Hochschule / Universität:
- Technische Universität München
- Fakultät:
- Fakultät für Maschinenwesen
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Werkstoffkunde und Werkstoffmechanik
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