Die vorliegende Arbeit behandelt die numerische Simulation elektromechanischer Instabilitäten bei mikromechanischen Bauteilen. Kernstück ist ein neuartiges Homotopieverfahren (Pfadverfolgungsverfahren) zur numerischen Simulation von Mikrobauelementen mit elektrostatischem Antrieb, mit dem sowohl stabile als auch instabile Arbeitsbereiche vollständig behandelt werden können, wie sie bei dieser Klasse von Mikrostrukturen typischerweise auftreten. Die entwickelte Pfadverfolgungsmethode kann nach Auswahl geeigneter Parameter automatisch und konsistent zwischen diesen umschalten und ermöglicht damit eine stabile, schnelle und genaue Simulation des Betriebsverhaltens starrer und flexibler Mikrostrukturen im gesamten Arbeitsbereich.     «

Die vorliegende Arbeit behandelt die numerische Simulation elektromechanischer Instabilitäten bei mikromechanischen Bauteilen. Kernstück ist ein neuartiges Homotopieverfahren (Pfadverfolgungsverfahren) zur numerischen Simulation von Mikrobauelementen mit elektrostatischem Antrieb, mit dem sowohl stabile als auch instabile Arbeitsbereiche vollständig behandelt werden können, wie sie bei dieser Klasse von Mikrostrukturen typischerweise auftreten. Die entwickelte Pfadverfolgungsmethode kann nach Au...     »

This thesis treats the numerical simulation of electromechanical instabilities in micromechanical devices. In its central part it constitutes a novel method in homotopy (path following method) for the numerical simulation of electrostatically driven microdevices. The resulting algorithm is able to fully simulate instabilities, which are inherent to this class of microelectromechanical structures. The newly developed algorithm can be controlled either by a single chosen parameter, or by multiple parameters, where in each step the most adequate one is automatically chosen and consistently activated. Applying this new algorithm results in a stable, fast and exact simulation of the behavior of rigid as well as flexible structures in the full range of operation, regardless of stable or unstable areas.     «

This thesis treats the numerical simulation of electromechanical instabilities in micromechanical devices. In its central part it constitutes a novel method in homotopy (path following method) for the numerical simulation of electrostatically driven microdevices. The resulting algorithm is able to fully simulate instabilities, which are inherent to this class of microelectromechanical structures. The newly developed algorithm can be controlled either by a single chosen parameter, or by multiple...     »